前沿计量科学中心

X射线坐标测量机标准器校准装置为一台微纳坐标测量机，该装置具有接触和光学两种测量模式。探针测量可以提取几何元素上测量点的坐标位置，再由测量软件计算重构出这些几何元素的尺寸、形状、相对位置等。具有国际领先的三维坐标测量精度。

扫描探针显微镜校准装置为系列微纳台阶高度标准器组组成，一维及二维栅格标准器作为其辅助标准器。其中纵向测量范围（50~1000）nm，相对不确定度（2.8%~0.6%），k=2。该校准装置作为纳米几何结构计量标准装置的量值传递标准样板用于提升其量传能力，实现对探针型设备，如原子力显微镜（AFM）、台阶仪、轮廓仪等其他微纳表面形貌测量仪器在纵向上的计量特性校准溯源。对满足国内半导体、微电子行业应用需求具有重大意义，从而保证我国扫描探针显微镜量值统一。

扫描电子显微镜校准装置

扫描电子显微镜校准装置为系列微纳栅格标准器组组成。其中测量范围（70~10000）nm，相对不确定度（2.86%~0.08%），k=2。该校准装置作为纳米几何结构计量标准装置的量值传递标准样板，用于扫描电子显微镜不同放大倍数下成像测长值的校准，实现对扫描电子显微镜计量特性校准溯源，从而保证我国扫描电子显微镜量值统一，对满足国内纳米技术产业和微电子行业应用需求具有重大意义。

科研团队

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所领导-王晶

李劲劲

研究员。清华大学本科、硕士，美国马里兰大学博士，普林斯顿大学博士后

研究员。清华大学本科、硕士，美国马里兰大学博士，普林斯顿大学博士后。近五年来主要从事基标准用量子器件的研制工作。“十三五”承担科技部国家重点研发计划“国家质量基础的共性技术研究与应用”中“电学量子与几何量计量基标准研制”项目。获得中国计量测试学会一等奖一项。现为中国电子学会超导电子学分会委员、中国超导标准化技术委员会委员。国际期刊Measurement Science and Technology编委会委员。

施玉书

博士，副研究员。

博士，副研究员。从事微纳三维表面形貌计量、微纳几何量计量及工业CT测量技术研究。国际计量委员会（CIPM）长度计量咨询委员会（CCL）纳米工作组（WG-N）、国际互认工作组（WG-MRA）成员、中国计量测试学会几何量专业委员会委员、全国几何量长度计量技术委员会成员、全国产品几何技术规范标准化技术委员会委员。主持参与科研项目近20项，发表论文20余篇，授权专利近10项，参与起草多项国家标准和计量规范。多次荣获省部级奖励。

傅博强

博士，副研究员，国家一级注册计量师

博士，副研究员，国家一级注册计量师。主要研究方向为生物活性成分、生物毒素、生物多糖、微生物/细胞等生物物质的高准确度测量方法、标准物质研制、仪器检定校准等。BIPM CCQM 细胞分析工作组CAWG 副主席，ISO TC276 生物技术委员会 WG3（分析方法）专家，中国计量测试学会生物计量专业委员会副秘书长。主持多项国家、厅局级课题，制订国家标准6项，主持制订校准规范2项，参与3项。发表SCI和EI文章6篇，申请发明专利4项，参编译著1本。主导并参加国际比对4项，区域比对1项。获省部级科技奖一等奖1项，三等奖2项。

酶标分析仪检定装置与半自动生化分析仪检定装置

新材料实验室-基标准物质