新材料实验室-基标准物质

纳米薄膜厚度校准装置

纳米薄膜厚度校准装置，用于纳米薄膜厚度的准确测量。该校准装置基于具有掠入射X射线反射功能的X射线衍射仪，通过角度和波长溯源，将量值溯源至SI国际单位。参加了APMP国际比对，取得等效一致比对结果；为标准物质定值，发布了4类12种纳米薄膜厚度国家一级标准物质，为量值传递提供载体。为相关科研院所、制造企业开展薄膜厚度校准服务，支持国家重大科研项目的进展及集成电路产业的发展。

多晶X射线衍射仪装置

多晶X射线衍射技术是测量粉末结晶体的晶体结构、点阵常数、物相组成等结构参数的重要方法，已广泛应用于化学、物理学、矿物学、地质学、材料科学、生物学、医药学等领域。该方法在实际应用过程中对于衍射角的准确测量具有重要意义。多晶X射线衍射仪检定装置可为相关科研院所、企业开展多晶X射线衍射仪检定服务，对其角度示值误差、重复性、仪器分辨力、探测器能谱分辨力等计量特性进行检定，完善量值溯源体系，保证测量结果准确可比。

激光共聚焦拉曼光谱校准装置

激光共聚焦拉曼光谱校准装置，用于激光共聚焦拉曼光谱仪的准确测量。该校准装置建立了激光共聚焦拉曼光谱仪的拉曼频移和拉曼相对强度的量值溯源体系。为拉曼频移和相对强度标准物质定值，研制了4种拉曼频移国家一级标准物质和1种拉曼相对强度国家一级标准物质，为量值传递提供载体。