X射线坐标测量机标准器校准装置

标准名称

X射线坐标测量机标准器校准装置

证书编号

[2015]国量标计证字第281号

标准类别

计量标准

社会公用计量标准

证书证号

[2015]国量标计证字第281号

发证机关

国家质量监督检验检疫总局

发证日期

2015年12月21日

技术指标

测量范围：（X，Y，Z）：（130,130,100）mm

MPE_E=±（0.25+L/666）μm，L-被测长度，单位mm

MPE_P=±0.25μm

X射线坐标测量机标准器校准装置为一台微纳坐标测量机，该装置具有接触和光学两种测量模式。探针测量可以提取几何元素上测量点的坐标位置，再由测量软件计算重构出这些几何元素的尺寸、形状、相对位置等。具有国际领先的三维坐标测量精度。测量范围130mm×130mm×100mm；最大允许长度测量示值误差MPE为±（0.25+L/666）μm， L-被测长度，单位mm；触针式探头最大允许探测形状误差为0.300μm。该校准装置经过精密校准后用于X射线坐标测量机（工业CT）标准器组的校准溯源。系列标准器组包括：标准单球、标准双球棒、标准球板、标准多球以及标准栅格板，可以满足X射线坐标测量机探测形状误差、探测尺寸误差、长度测量误差和二维平面分辨力的准确校准。对我国X射线坐标测量机标（工业CT）的量值统一具有重要的意义。