量子器件实验室

量子器件实验室组建于2010年，职责是研制具有自主知识产权的计量用核心芯片。拥有超净间和微加工平台，具备光刻机、镀膜设备、CVD设备、刻蚀设备、芯片切割机、倒装焊、CMP 等。已在量子电阻、量子电压、毫米波功率基标准芯片方面取得突破。成功研制 1V 集成约瑟夫森结阵器件，可用于精确复现 1 V 直流量子电压。实现 40 万约瑟夫森集成结阵，使我国成为继美、日、德后第四个具有此能力的国家。成功研制用于量子霍尔电阻国家基准及低磁场量子电阻自然基准的单个量子霍尔器件，以及十进制电阻阵列芯片。在国际上首次实现 WR-6 毫米波功率基准用原创芯片，用于NIM及NIST基准系统。正研制用于单光子及X射线计量基标准的超导边沿探测器件（TES）、计量用传感器件等。