纳米计量实验室

纳米计量实验室主要职责是在微纳尺度研制计量基标准装置，并建立纳米计量溯源与传递体系，统一微纳量值，实现量值国际等效互认。

实验室成功研制大范围计量型纳米测量机、计量型原子力显微镜、计量型扫描电子显微镜等标准装置，建立了我国纳米几何量量值源头，形成国家基准1项和计量标准10项。获批多种微纳米台阶、栅格国家一级标准物质；通过国际比对、同行评审，多项微纳计量能力进入国际KCDB数据库；多次获省部级奖励。

实验室已形成基于深紫外光学、电子束及探针扫描的线宽计量能力。正在开展晶圆标准片校准方法、薄膜微观结构的光散射和微区成分的拉曼测量技术研究。随着SI单位重新定义，新一代基于硅晶格常数的纳米量值传递体系正在建立。