纳米计量实验室-技术能力与服务

序号

计量器具或参数名称

测量范围

校准测量能力/准确度等级/最大允许误差

依据/参考文件名称及编号

1

表面粗糙度比较样块

Ra：（0.025-25）mm

MPE:-17%--+12%

JJF1099-2018表面粗糙度比较样块校准规范

2

光切显微镜校准

H：（0.8-80）mm

MPE:±（24-5）%

JJF1092-2002光切显微镜校准规范

3

干涉显微镜

H：（0.1-1.0）mm

MPE:±（22-5）%

JJG77-2006干涉显微镜检定规程

4

多刻线样板

Ra：（0.1-10）mm

U₉₅＝(5～2)%

JJG2018-89表面粗糙度计量器具检定系统

5

单刻线样板

H：（0.1-80）mm

U₉₅＝(5～2)%

JJG2018-89表面粗糙度计量器具检定系统

6

触针式表面粗糙度测量仪

Ra：（0.1-10）mm

MPE:±(5～15)%

JJF1105-2018触针式表面粗糙度测量仪校准规范

7

扫描电子显微镜

放大倍数：（100-10000000）

U=（1-2）％，k=2

JJG550-88 扫描电子显微镜检定规程

8

扫描探针显微镜

X、Y、Z: （90μm×90μm ×10μm）

U=（1-5）％，k=2

JJF1351-2012 扫描探针显微镜校准规范

9

线宽

（0～200）µm

U=(20+5×10-8×W)nm，k=2 (W为线宽距离，W－nm)

NIM-ZY-CD-NM-001 计量型原子力显微镜纳米测量系统操作技术规范

10

台阶高度

(0～2000)nm

U =(1+2×10^-4×H)nm，k=2

（H为台阶高度，H－nm）

GB/T 10610-1998  产品几何技术规范 表面结构 轮廓法评定表面结构的规则和方法

11

沟槽深度

(0～2000)nm

U =(1+2×10^-4×H)nm，k=2

（H为沟槽深度，H－nm）

NIM-ZY-CD-NM-001 计量型原子力显微镜纳米测量系统操作技术规范

12

一维格栅线间隔

(0～20) mm

U =(1+2×10^-4×L)nm，k=2

（L为线间隔距离，L－nm）

NIM-ZY-CD-NM-001 计量型原子力显微镜纳米测量系统操作技术规范

13

两维格栅线间隔

(0～20) mm

U =(1+2×10^-4×L)nm，k=2

（L为线间隔距离，L－nm）

NIM-ZY-CD-NM-001 计量型原子力显微镜纳米测量系统操作技术规范

14

不规则线间隔

(0～20) mm

U =(1+2×10^-4×L)nm，k=2

（L为线间隔距离，L－nm）

NIM-ZY-CD-NM-001 计量型原子力显微镜纳米测量系统操作技术规范

15

X射线坐标测量机

1500 mm

探测尺寸误差U=1.2 μm，k=2

长度误差U=（0.6～1.3）μm，k=2

探测形状误差U=0.4 μm，k=2

NIM-ZY-NM-NM-035 X射线坐标测量机校准规范

16

X射线坐标测量机标准器(标准球直径；标准球形状；球心距)

Φ（0.5~50）mm

Φ（0.5~50）mm

（X，Y，Z）=（130，130，100）mm

U<0.35μm ，k=2

U<0.40μm ，k=2

U<0.50μm ，k=2

NIM-ZY-NM-NM-034 X射线三维尺寸测量机标准器校准规范