扫描电子显微镜校准装置

标准名称

扫描电子显微镜校准装置

证书编号

[2015]国量标计证字第280号

标准类别

计量标准

社会公用计量标准

证书证号

[2015]国量标计证字第280号

发证机关

国家质量监督检验检疫总局

发证日期

2015年01月21日

技术指标

测量范围：（70~10000）nm

相对不确定度：U_rel=（2.86%~0.08%）, k=2

扫描电子显微镜校准装置为系列微纳栅格标准器组组成。其中测量范围（70~10000）nm，相对不确定度（2.86%~0.08%），k=2。该校准装置作为纳米几何结构计量标准装置的量值传递标准样板，用于扫描电子显微镜不同放大倍数下成像测长值的校准，实现对扫描电子显微镜计量特性校准溯源，从而保证我国扫描电子显微镜量值统一，对满足国内纳米技术产业和微电子行业应用需求具有重大意义。