扫描探针显微镜校准装置

标准名称

扫描探针显微镜校准装置

证书编号

[2015]国量标计证字第281号

标准类别

计量标准

社会公用计量标准

证书证号

[2015]国量标计证字第281号

发证机关

国家质量监督检验检疫总局

发证日期

2015年01月21日

技术指标

测量范围：水平X、Y：（0~2）μm 垂直Z:（0~100）μm

相对不确定度：位移Z：U_rel=（2.8%~0.6%）, k=2

位移X、Y：U=5.0nm, k=2

扫描探针显微镜校准装置为系列微纳台阶高度标准器组组成，一维及二维栅格标准器作为其辅助标准器。其中纵向测量范围（50~1000）nm，相对不确定度（2.8%~0.6%），k=2。该校准装置作为纳米几何结构计量标准装置的量值传递标准样板用于提升其量传能力，实现对探针型设备，如原子力显微镜（AFM）、台阶仪、轮廓仪等其他微纳表面形貌测量仪器在纵向上的计量特性校准溯源。对满足国内半导体、微电子行业应用需求具有重大意义，从而保证我国扫描探针显微镜量值统一。