纳米计量实验室-计量基标准 | 中国计量科学研究院

序号	计量基标准名称	证书编号	发证日期	测量范围	不确定度或准确度
1	表面粗糙度基准装置	国基证(2002)第004号	2002 年	Ra:( 0.1~10)mm H: ( 0.1~80)mm	U_rel=2%～5% k=3
2	表面粗糙度比较样块校准装置	[1988]国量标计证字第 150 号	1988年	Ra:(0.01~1000)μm	MPE: ±3%
3	多刻线样板标准装置	[1988] 国量标计证字第 159 号	1988年	Ra:( 0.1~4.3)μm	U₉₅=(5~2)%
4	X射线坐标测量机标准器校准装置	[2015] 国量标计证字第 294号	2015年	（X，Y，Z）：（130,130,100）mm	MPE_E=±（0.25+L/666）μm，L-被测长度，单位mm MPE_P=±0.25μm
5	X射线坐标测量机校准装置	[2017] 国量标计证字第333号	2017年	球板标准器:(5～50) mm 球板标准器:(15～110) mm 多球标准器:(20～120) mm 标准球棒:113 mm 标准球:8 mm	球板标准器:(5～50)mm, U₉₅=0.28μm; 球板标准器:(15～110)mm, U₉₅=0.46μm 多球标准器:(20～120)mm, U₉₅=0.46μm; 标准球棒:113 mm, U₉₅=0.33μm 标准球:8 mm, U₉₅=0.14μm
6	单刻线样板标准装置	[1988] 国量标计证字第 155 号	1988年	H:(0.1~46.0)μm	U₉₅=(5~2)%
8	毫米级纳米几何结构样板校准装置	[2015] 国量标计证字第 274号	2015年	X、Y、Z:10mm×10mm×5mm	位移Z：U=1.0nm+1.0×10^-5H, k=2, H垂直位移位移X、Y：U=1.0nm+2.0×10^-7P, k=2, P水平位移
9	扫描电子显微镜校准装置	[2015] 国量标计证字第 280号	2015年	(70~10000)nm U_rel=（2.86%~0.08%）, k=2	U_rel=（2.86%~0.08%）, k=2
10	扫描探针显微镜校准装置	[2015] 国量标计证字第 281号	2015年	水平X、Y：（0~2）μm 垂直Z:（0~100）μm	相对不确定度：位移Z：U_rel=（2.8%~0.6%）, k=2 位移X、Y：U=5.0nm, k=2
11	微纳米样板校准装置	[2018] 国量标计证字第 348号	2018年	线宽：（0~20）μm 栅格间距:（0~40）μm	U=(5+8×10^-³W)nm, k=2, (W-nm) U=(1+6×10^-³P)nm, k=2, (P-nm)
12	纳米几何结构标准装置	[2007] 国量标计证字第 040号	2007年	台阶类及其他垂直结构（0~2）μm，线间隔及其他水平结构（0~20）μm	U=0.5nm, k=2