毫米级纳米几何结构样板校准装置

标准名称

毫米级纳米几何结构样板校准装置

证书编号

[2015]国量标计证字第279号

标准类别

计量标准

社会公用计量标准

证书证号

[2015]国量标计证字第279号

发证机关

国家质量监督检验检疫总局

发证日期

2015年02月05日

技术指标

测量范围：X、Y、Z:10mm×10mm×5mm

不确定度：位移Z：U=1.0nm+1.0×10^-5H, k=2, H垂直位移

位移X、Y：U=1.0nm+2.0×10^-7P, k=2, P水平位移

随着集成电路工业中硅片尺寸的增大及大规模微纳结构、大规模MEMS器件的出现，促使纳米几何结构计量从小范围向大范围迈进。大范围纳米几何结构标准装置扩大了三维纳米结构计量标准的测量范围，提升了现有纳米几何结构计量标准装置的量传能力。该标准装置采用原子力显微镜作为测头，系统集成激光干涉仪实现位移量值溯源。该标准装置有两种扫描模式可以满足从毫米级到微纳米级尺寸的纳米几何结构传递样板的量值传递和溯源。