纳米几何结构标准装置

标准名称

纳米几何结构标准装置

证书编号

[2007]国量标计证字第040号

标准类别

计量标准

社会公用计量标准

证书证号

[2007]国量标计证字第040号

发证机关

国家质量监督检验检疫总局

发证日期

2015年10月27日

技术指标

测量范围：台阶类及其它垂直结构：（0~2）μm

线间隔类及其它水平结构：（0~20）μm

不确定度：0.5nm, (k=2)

纳米几何结构计量技术是纳米技术实现工业化生产中的关键技术。纳米几何结构标准装置主要用于纳米量值传递，纳米量值传递样板的校准，为我国纳米测量提供准确的量值传递和溯源服务，并为我国纳米技术的研究和生产提供有力技术保障。纳米几何结构标准装置由计量型原子力显微镜纳米检测系统和校准型原子力显微镜两套测量系统组成，两套系统可分别独立工作。其中计量型原子力显微镜纳米测量系统测量范围x方向（0~70）μm、y方向（0~15）μm、z方向（0~7）μm，测量不确定度0.5nm, (k=2)；校准型原子力显微镜测量范围xy方向（0~90）μm，z方向（0~10）μm测量不确定度1.2nm, (k=2)；纳米几何结构标准装置的建立既填补了我国纳米计量的空白，也极大地提升我国参与国际比对的能力，使得纳米计量水平达到国际标准。