片上光电子器件及光子芯片混合集成研究进展

高品质氮化硅薄膜色散曲线

光栅标准器

2019年，片上光电子器件及光子芯片的混合集成研究成果主要包括：（1）基于微环谐振腔片上集成技术，开展微环谐振腔光学频梳的非线性色散管理、光频梳产生与片上光谱调控，构筑高Q值光学薄膜及纳米加工制备技术研究体系，实现了宽光谱微腔光频梳的产生与精密测量的自主研究体系。（2）依托课题组光学薄膜与器件的设计和加工能力，开展了纳米光学、近场光学与硅基光电子器件研究，实现了高损伤阈值超高分辨亚波长光栅、高稳定性微环谐振腔、光波导等纳米功能器件。