芯片尺度多普勒展宽测温系统示意图 硅基微环光子温度计器件 研究聚焦芯片级温度计量标准。为实现在线、免标定的热力学温度测量,本研究精密测量铯原子直接吸收光谱,提取谱线多普勒展宽分量并测量系统热力学温度,在室温条件下测量不确定度优于1%(k=1)。本研究同时开展基于硅基微腔的光子学测温,利用硅基材料的热光效应以及微腔的高品质因数特性,实现mK级分辨率的协议温度测量。