透射电镜高放大倍率校准用标准物质研究

高放大倍率下用金晶格常数校准TEM的标准物质

新材料计量实验室建立了基于透射电镜高分辨晶格像和几何相位分析的应变测量方法，可以对材料晶格应变进行精细测量，对硅/铌界面、氮化镓/硅界面的应变状态进行了测量。在此基础上，采用晶格应变测量技术和X射线衍射定值方法，研制了透射电镜高放大倍率校准用标准物质，使用金晶格常数作为量值传递介质，解决了原子尺度量值溯源问题。研究成果主要应用在透射电镜校准、集成电路及半导体产业的生产质量控制以及国家重大基础科学研究领域，并取得了一定的经济效益及社会效益。