微纳米力学测量研究和标物研制

纳米压入仪的量值溯源系统

微米划痕仪的位移和载荷量值溯源系统

随着材料的研发生产和应用进入微纳米尺度，以往的通过宏观的力学测量手段已不适用于测量微纳米薄膜和器件的力学性能参数的测量。近年来，微纳米压入和划痕等力学测量手段随着微纳米材料的发展和应用，在半导体薄膜和器件、功能薄膜、新能源材料、生物材料等领域应用愈发广泛，因此亟待建立基于微纳米尺度的材料力学性能参数测量的量值溯源体系。材料建立了基于纳米压入和微纳米划痕测量的量值溯源体系，并研制了相关的标准物质，建立了纳米压入硬度、压入模量，薄膜微纳米划痕结合强度等参数的准确测量能力。