仪器/样品名称
VLSI电阻率标准

仪器别名
仅针对3英寸以内ADE电阻率标准，4D电阻标准，Sinton方块电阻标准片，SYN多功能测试片，非标电阻率样片，4pp方块电阻标准片
规格型号
RS3
不确定度
1.5%
测量范围
（0.001-200）欧姆厘米
收费单位
片
项目类型
校准
收费标准
3500
收费备注
仅针对3英寸以内标片，需附带原始报告
序号
25754
编号
25754
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