仪器/样品名称
（二氧化硅）标准物质（椭偏仪用）

仪器别名
椭偏仪校准标样，椭偏仪标准片，纳米薄膜标准片
规格型号
SiO2；SiNx；GBW；客户提供
不确定度
椭偏角Psi: 0.3度，Delta: (0.3~1.0)度；等效膜厚：(0.3~1.0)nm；折射率(0.005~0.010)
测量范围
椭偏角: 全角度；膜厚（等效介质）: (5~200)nm；折射率: 1.3~2.2
收费单位
片
项目类型
校准
收费标准
2700
收费备注
给出2个入射角（70和75度）下的椭偏角标准值；额外增加入射角加收1000元/个。
序号
20380
编号
20380
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