仪器/样品名称
单波长椭偏仪

规格型号
LE；SE；客户提供
不确定度
椭偏角Psi: 0.3度，Delta: (0.3~1.0)度；等效膜厚：(0.3~1.0)nm；折射率(0.005~0.010)
测量范围
椭偏角: 全角度；膜厚（等效介质）: (50~200)nm；折射率: 1.3~2.2
收费单位
台
项目类型
校准
收费标准
3240
序号
20372
编号
20372
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