专利

专利名称

具有毫米行程的单轴纳米位移执行器

专利状态

授权

专利类型

发明专利

发明人员

高思田,徐胜,李琪

发明单位

长度计量科学与精密机械测量技术研究所,纳米新材料计量研究所

国家

中国

申请部门

纳米新材料计量研究所