材料宏微观微波电磁特性计量

基于电容法、传输线法何谐振腔法建立了1MHz~40GHz频率范围内材料介电常数的测量标准装置，测量不确定度指标达到国际先进水平，参加了国际材料介电常数测量多边比对。此外，提出了空气间隙自修正反演算法和双通道传输系数测量方法，有效解决了复杂形状材料和低损低介电材料的测量难题。

为了定量测量材料在纳米尺度下的微区介电常数，我们研制了扫描近场微波显微镜（SNMM）。通过研究相应的校准方法和针尖-样品作用模型，可以从扫描电容图像中定量提取纳米薄膜的微区介电常数。这项工作为纳米电子材料和器件电磁性能的计量和表征提供了新的解决方案。

1MHz~40GHz材料介电常数测量装置

扫描近场微波显微镜