频率范围:DC ~200 Hz(可扩展); 行程(挠度测量范围):200 mm~2m (可选); 失真度:< 5% 横向运动比:< 5% 扁平化机器视觉测量不确定度:0.5~1%(k=2); 激光干涉法测量不确定度:0.5~1%(k=2); 比较法测量不确定度:2%(k=2)。