高精度金刚石压头外形参数测量装置

硬度实验室研发了基于光学干涉法测量金刚石压头外形尺寸的装置，主要测量对象包括洛氏和表面洛氏金刚石圆锥压头，维氏、小负荷维氏和显微维氏金刚石四棱锥压头，以及显微努氏金刚石四棱锥压头等。整套测量系统由干涉显微测量和轮廓投影测量两部分构成。干涉显微测量部分配合五个自由度的旋转位移台和角度光栅编码器完成金刚石压头的角度测量。CCD轮廓投影部分实现对洛氏金刚石圆锥压头顶端投影圆弧的半径测量。

主要的技术指标有：

压头角度：0.02°，k=2

圆弧半径：1.0 μm，k=2