干涉法压头外形快速测量装置的研制

压头外形测量是国际上硬度领域的研究热点之一，本课题采用先进的激光干涉定位技术，实现压头微小形貌的高精度测量。干涉显微镜配合五自由在度的旋转平台，实现压头角度的高精度测量，CCD轮廓投影结合先进的拟合算法可以达到对圆弧半径的精确测量，达到世界先进水平。

主要的技术指标有：

压头角度：0.02°，k=2

圆弧半径：1.0 μm，k=2