高准确度20 kg质量测量系统的研制

为满足新材料、生物医学、微电子等领域对微克质量和微纳力值的计量需求，质量室开展了“微克质量标准的建立与溯源中的关键技术研究”。课题组历时4年，成功研制了微克质量标准2套、微克质量测量系统1套。微克质量标准500 μg、200 μg、100 μg和50 μg测量扩展不确定度分别优于 0.22 μg（k = 2）、0.14 μg（k = 2）、0.13 μg（k = 2）和0.094 μg（k = 2）。课题研究成果填补了我国微克质量标准测量能力空白，综合技术指标达到了国际先进水平，可以为微量天平、原子力显微镜（AFM）、纳米压入测量系统等微纳力学计量仪器提供高准确度的量值溯源，为提高其测量准确度、减小测量结果的分散性做出支撑。