薄膜材料表面化学分析标准物质

表面化学分析是薄膜等材料测量表征常用的一类重要技术手段，分析测量结果的准确可靠日益需要计量溯源性来提供保证。目前，国家计量院已研制出三类表面化学分析标准物质：（1）X射线光电子能谱仪（XPS）能量标度金银铜标准物质（GBW(E)130545~130547）；（2）二氧化硅纳米薄膜厚度（深度剖析）标准物质（GBW 13965~13974），量值范围10 nm~120 nm；（3）铜铟镓硒薄膜元素组成标准物质。通过参加近10项国际比对（CCQM-K32、CCQM-K67和CCQM-K129等）且取得等效度，这些标准物质得到了国际互认，它们能够为仪器校准、国家标准实施和产品质量控制等提供表面化学分析计量溯源性保证。