纯气体高准确度溯源技术

纯气体高准确度溯源技术研究取得重大进展。在国家科技支持项目支持下，成功研制了高纯气体杂质检测用标准物质3种和超高纯氦气、氩气、氮气纯度标准物质3种。在2017年这6种气体标准物质全部获批为国家一级标准物质。与国内外现有标准物质相比，无论是种类和不确定度方面都达到了国内领先水平，进入国际先进行列。在项目执行期间还完成发明专利3项，实用新型专利2项。开发了具有自主知识产权的高纯气体标准物质重量法制备平台、大量程超高纯气体稀释装置等多套设备，建立等离子体发射检测器气相色谱（GC-PED）和大气压离子质谱仪（APIMS）等分析方法。高纯气体标准物质的成功研制，为我国建立高纯气体精确测量和质量监控的量值溯源体系建立了坚实的基础，同时使我院具备了高纯气体精密测量和品质监控的检测能力，该能力已经为国内电子行业纯气应用等项目提供了技术服务。项目成果获得了我们计量测试学会科技进步二等奖。