硅单晶电阻率标准装置

名称

硅单晶电阻率标准装置【1996】国量标计证字第206号

照片

原理

采用经典直排四探针法测量原理。当探针落压到被测样品表面时，选择适合的恒流源输出，经电位选择开关及探针头外侧的两根探针加到被测样品表面时，在探针头内侧的两根探针间即产生电位差。数字电位差计测得这个电位差，并通过电位选择开关和标准电阻精确测量恒流源电流输出值后，完成对被测样品电阻率的测量。全部测量过程由计算机控制自动完成并作数据处理。

可测仪器

硅单晶电阻率标准样片

四探针电阻率测试仪

指标

测量范围：（0.005～1000）Ω˙cm，不确定度：U=1.5×10^-2，k=2

规程规范

JJG48-2004硅单晶电阻率标准样片检定规程

JJG508-2004 四探针电阻率测试仪检定规程