被测设备 （校准项目）名称
膜厚测量仪、光学薄膜、金属薄膜、半导体薄膜

序号
29
校准方法 （名称、编号、版本号）
NIM-ZY-GX-FS-405椭偏仪校准规范;
GJB/J5463-2005 光学薄膜折射率和厚度测试仪检定规程;
JJF 1306-2011 X射线荧光镀层测厚仪校准规范
限制范围和说明
测量范围(0～100)µm
编号
qianyan_29
研究所
前沿计量科学中心