被测设备 （校准项目）名称
掠入射X射线反射法校准纳米薄膜厚度

序号
21
校准方法 （名称、编号、版本号）
NIM-ZY-NM-CL-003 ;
X射线反射法纳米薄膜厚度标准片校准方法
编号
qianyan_21
研究所
前沿计量科学中心