被测设备 （校准项目）名称

不规则线间隔

序号

15

校准方法 （名称、编号、版本号）

NIM-ZY-NM-NM-001 计量型原子力显微镜纳米测量系统操作技术规范

限制范围和说明

测量范围(0～20)µm

编号

qianyan_15

研究所

前沿计量科学中心