被测设备 (校准项目)名称
台阶高度

序号
11
校准方法 (名称、编号、版本号)
NIM-ZY-NM-NM-001 计量型原子力显微镜纳米测量系统操作技术规范
限制范围和说明
测量范围(0~2000)nm
编号
qianyan_11
研究所
前沿计量科学中心