被测设备 （校准项目）名称

线宽样板

序号

10

校准方法 （名称、编号、版本号）

NIM-ZY-NM-NM-031纳米台阶高度与水平结构样板校准方法

限制范围和说明

(0~100)µm

编号

qianyan_10

研究所

前沿计量科学中心