被测设备 （校准项目）名称

台阶高度样板

序号

8

校准方法 （名称、编号、版本号）

NIM-ZY-NM-NM-031纳米台阶高度与水平结构样板校准方法

限制范围和说明

(0~5)µm

编号

qianyan_8

研究所

前沿计量科学中心