被测设备 （校准项目）名称

*扫描电子显微镜

序号

7

校准方法 （名称、编号、版本号）

NIM-ZY-NM-NM-33扫描电子显微镜校准方法;
JJG550-1988 扫描电子显微试行检定规程

限制范围和说明

(7～10000)nm

编号

qianyan_7

研究所

前沿计量科学中心