被测设备 （校准项目）名称
*扫描探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜

序号
6
校准方法 （名称、编号、版本号）
JJF1351-2012扫描探针显微镜校准规范
限制范围和说明
Z:(0~2)µm X.Y: (0~200)µm
编号
qianyan_6
研究所
前沿计量科学中心