被测设备 （校准项目）名称

*扫描探针显微镜

序号

5

校准方法 （名称、编号、版本号）

JJF1351-2012扫描探针显微镜校准规范

限制范围和说明

线宽标准:(50～20000)nm

编号

qianyan_5

研究所

前沿计量科学中心