被测设备 （校准项目）名称
*粗糙度测量仪、台阶仪

序号
4
校准方法 （名称、编号、版本号）
JJF 1105-2018触针式表面粗糙度测量仪校准规范;
JJF1092-2002光切显微镜校准规范;
JJG 77-2006干涉显微镜
限制范围和说明
触针式表面粗糙度测量仪：Ra:(0.1~10) µm 光切显微镜：H:(0.8~80)µm 干涉显微镜：H:(0.1~1)µm
编号
qianyan_4
研究所
前沿计量科学中心