被测设备 （校准项目）名称

X射线三维尺寸测量机

序号

16

校准方法 （名称、编号、版本号）

NIM-ZY-NM-NM-033;
X射线三维尺寸测量系统校准规范

编号

qianyan_16

研究所

前沿计量科学中心