被测设备 （校准项目）名称
纳米光栅线距标准样板、标准光栅，光学光栅

序号
1
校准方法 （名称、编号、版本号）
NIM-ZY-NM-NM-031纳米台阶高度与水平结构样板校准方法
限制范围和说明
500线/mm到3000线/mm
编号
qianyan_1
研究所
前沿计量科学中心