被测设备 （校准项目）名称

透射电镜测量晶面间距

序号

32

校准方法 （名称、编号、版本号）

NIM-ZY-NM-CL-062 透射电镜测量金薄膜晶面间距作业指导书

编号

qianyan_32

研究所

前沿计量科学中心