被测设备 （校准项目）名称

光栅样板（标准光栅，光学光栅）

序号

251    

校准方法 （名称、编号、版本号）

纳米光栅线距和电子扫描显微镜放大倍率标准样品校准规范 NIM-ZY-DL-CD-501

限制范围和说明

5000线/mm到500线/mm

编号

jiheliang_251

研究所

几何量所