被测设备 （校准项目）名称
*扫描探针显微镜

序号
103    
校准方法 （名称、编号、版本号）
JJF1351-2012扫描探针显微镜校准规范；NIM-01-04-2000 表面粗糙度标准样板校准规范；NIM-ZY-CD-NM-001；计量型原子力显微镜纳米测量系统操作技术规范
编号
jiheliang_103
研究所
几何量所