项目名称/专利名称
与国际等效的Si上SiO2超薄层厚度精确测量XPS方法

获奖年份
2011
所获奖项
二等奖
主要完成人/发明人
王海、刘芬、赵良仲、宋小平、李红梅、赵志娟、邱丽美、阚莹
奖项类别
分析测试协会奖
完成单位
中国计量科学研究院、中国科学院
专业所
化学所
序号
21