被测（参量/仪器/物质）
漏孔

序号
5
校准类别/校准参量
气体流量
测量仪器型号/校准方法
与漏率系统比较
测量等级-最小
1.00E-10
测量等级-最大
5.00E-05
测量等级-单位
Pa∙m3/s
测量环境/影响量-参量
气体种类
测量环境/影响量-指标
氦气
扩展不确定度-数值
(0.076~0.016)q, q in Pa∙m3/s
扩展不确定度-单位
Pa∙m3/s
扩展不确定度-k=
2
扩展不确定度-置信概率
95%
扩展不确定度-（是/否）为Urel
否
编号
regong_5
研究所
热工所