被测（参量/仪器/物质）
电容薄膜真空计

序号
4
校准类别/校准参量
绝压：真空
测量仪器型号/校准方法
与静态膨胀系统比较
测量等级-最小
1
测量等级-最大
100
测量等级-单位
Pa
扩展不确定度-数值
(0.0030~0.0020)p, p in Pa
扩展不确定度-单位
Pa
扩展不确定度-k=
2
扩展不确定度-置信概率
95%
扩展不确定度-（是/否）为Urel
否
编号
regong_4
研究所
热工所