被测（参量/仪器/物质）
沟槽深度/台阶高度 H

序号
75
校准类别/校准参量
表面形貌
测量仪器型号/校准方法
原子力显微镜
测量等级-最小
0
测量等级-最大
5000
测量等级-单位
nm
测量环境/影响量-参量
温度
测量环境/影响量-指标
20°C±1°C
扩展不确定度-数值
Q[1.8, 3E-03H], H 单位 nm
扩展不确定度-单位
nm
扩展不确定度-k=
2
扩展不确定度-置信概率
95%
扩展不确定度-（是/否）为Urel
否
编号
chandu_80
研究所
长度