被测（参量/仪器/物质）
光学平面：平面度

序号
71
校准类别/校准参量
平面标准器
测量仪器型号/校准方法
移相式斐索干涉仪
测量等级-最小
0.01
测量等级-最大
5
测量等级-单位
μm
测量环境/影响量-参量
直径
测量环境/影响量-指标
10 mm to 300 mm
扩展不确定度-数值
10
扩展不确定度-单位
nm
扩展不确定度-k=
2
扩展不确定度-置信概率
95%
扩展不确定度-（是/否）为Urel
否
编号
chandu_76
研究所
长度