被测（参量/仪器/物质）
网格：网格点坐标

序号
67
校准类别/校准参量
线纹标准
测量仪器型号/校准方法
高精度激光二坐标标准装置
测量等级-最小
0
测量等级-最大
300×300
测量等级-单位
mm
测量环境/影响量-参量
温度
测量环境/影响量-指标
20°C±0.2°C
扩展不确定度-数值
 Ux=Q[104, 2E-07x, 1.4E-06y],Uy=Q[104 1.4E-06x, 2E-07y]以 x和 y 坐标点确定，单位 nm
扩展不确定度-单位
nm
扩展不确定度-k=
2
扩展不确定度-置信概率
95%
扩展不确定度-（是/否）为Urel
否
编号
chandu_70
研究所
长度