被测（参量/仪器/物质）
参考晶片

序号
146
校准类别/校准参量
电导率：半导体或类似材料
测量仪器型号/校准方法
直接比较
测量等级-最小
1.00E-03
测量等级-最大
1.00E+05
测量等级-单位
Ω cm
测量环境/影响量-参量
空气控温箱温度
测量环境/影响量-指标
20 °C
扩展不确定度-数值
2%
扩展不确定度-单位
%
扩展不确定度-k=
2
扩展不确定度-置信概率
95%
扩展不确定度-（是/否）为Urel
Yes
扩展不确定度-备注
12.1.3
编号
dianci_241
研究所
电磁所